分别制作光掩膜版,紧接着用第一块a字母的掩膜版在硅片上刻了a,再用b字母的掩膜版在硅片上刻上b,最终得到所需要的ab组合图案。
八个字概括就是,精度不够,工序来凑。
“要花两倍的流片费用,高总,14纳米的……”
陈星刚想问问流片费多少,却发现高永明整个人止不住颤抖,瞳孔微缩的同时,充满了恍然大悟与激动之色。
他身旁的两位光刻工程师,也在喃喃低语。
“多重曝光…”
“既然单次精度不够,为何不分两次曝光呢?”
“好天才的想法…”
三人似乎进入了顿悟状态,高永明本身就是干这方面的,同时也是光刻领域的教授,他自然不会听不懂林天在说什么,现在他脑海只有一段话:“多重曝光技术,duv光刻机的春天终于要来了吗?”
一阴一阳的图案互补,理论上是绝对可以的,而且还能一分为四,虽然工序更复杂,还别说,7纳米芯片真能造!
曲程也在惊叹这个想法,他怎么说也是半导体领域院士,虽然不是光刻方面的,但步骤他可都是一清二楚的。
惊叹林天想法的同时,也在感慨陈星运气怎么这么好,可以结识到这么多天才。
高正谦、白衍、林天这三人,他都可以用怪胎形容了,而陈星可以同时和他们结交,并将其收入麾下,怪不得有人说,运气也是实力的一部分。
不知过去多久,可能有足足十分钟左右。
“呼——”
唐鑫宇长舒一口气,看向高永明说道:“生产阴阳芯片掩膜版,没准真能突破光刻机限制,造出14纳米芯片。”
“我觉得可以一试。”
另一位龙芯国际的工程师也开口给予肯定。
以往他们的思维是,拥有多少纳米精度的光刻机,就制造多少纳米的芯片,这也是国际一直灌输的刻板理念,让他们的思维固化。
当林天提出多重曝光技术,并解答原理后,他们瞬间醍醐灌顶,跳出了刻板的固化思维,从而发现了新大陆。
高永明也是性情中人,双膝猛然弯曲。
不过林天眼疾手快,一把将他扶住,忍不住吐槽道:“不是,你想干嘛啊?”
“授业之恩,今生难忘,以貌识人,羞愧难当!”
高永明仅用十六个字,就解释了他为何想跪。
多重曝光技术原理,简直照亮了龙芯国际要前进的方向,就如同海上行驶时所见的灯塔,同时他也在羞愧,为什么之前要用外表去评判一个人呢?
解决庞加莱猜想,拒绝数学菲尔茨奖,震惊全世界的佩雷尔曼还是个不修边幅的“流浪汉”呢!
还有龙国的一些“扫地僧”,他们同样不修边幅,怎么舒服,就怎么来,在课堂讲课时,还有人能当众吸烟喝酒。
在意识到自己犯下错误后,高永明也是敢于承担。
他身旁两位工程师也照葫芦画瓢,想感谢林天的授业之恩,被陈星一手一个抱住。
“哎!都快2015年了,就别整这些繁文缛节了,不如讲点实际的,流片费用能不能打个折。”
陈星是给足了他们台阶,为了维护气氛操碎了心。
“是啊!”
曲程也附和一声,调侃道:“虽说男儿膝下有黄金,但你们可别想用来交学费。”
“实际一点,流片给他们打个折,就当是听了多重曝光技术原理的学费。”
“好!”
高永明没有迟疑,立马承诺道:“这次14纳米芯片的流片费用,我龙芯国际全包了!”
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